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液压元jian关键部jianPVD修fu技术

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PVD技术简jie

PVD是ying文Physical Vapor Deposition(物li气xiang沉积)的suo写。指利用物li过程实现物zhizhuan移,将原子或分子由源zhuan襭in交鵦aibiao面shang的过程。PVD的作用是可以shi某些有特殊性能(强度gao、naimo性、san热性、nai腐性等)的weili喷涂在性能较低的母体shang,shi得母体具有更好的性能。

PVD基本fang法

真空蒸发、溅射 、li子du(空心阴jili子du、热阴jili子du、电弧li子du、活性fan应li子du、射pinli子du、zhi流放电li子du)。

PVD技术lilun

在真空条jian下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电shi靶cai蒸发并shibei蒸发物zhi与气体du发生电li,利用电场的加速作用,shibei蒸发物zhi及其fan应产物沉积在工jianshang。

PVD技术应用实例



技术难点:

1.沉积的最大厚度为5μm,但是wo们所需要的厚度zhi有2-3μm,并且气xiang沉积bu能精确控制沉积厚度;

2.由于dan簧管、小球以及连接jian是轴承钢所制,所能承受的温度bu能过gao,但是物li气xiang沉积时的温度bu能低于280°C,所以需要精确匹pei。

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